光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811515759.8

申请日：

2018-12-12

公开(公告)号：

CN109960105A

公开(公告)日：

2019-07-02

发明(设计)人：

坪井诚治中村真实

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F126

IPC分类号：

G03F146

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

朴渊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/26 申请日:20181212
2019-07-02	公开	公开

共 50 条

[1]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

日本专利 :CN109960105B ,2024-06-18

[2]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、以及显示装置的制造方法 [P].

安森顺一 ;

浅川敬司 ;

田边胜 .

中国专利 :CN113448161A ,2021-09-28

[3]

光掩模坯料及其制造方法、光掩模的制造方法、以及显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

中国专利 :CN109254496A ,2019-01-22

[4]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25

[5]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[6]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09

[7]

光掩模、光掩模的制造方法、光掩模坯料以及显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN105319831A ,2016-02-10

[8]

光掩模坯料及光掩模的制造方法 [P].

深谷创一 ;

中川秀夫 ;

笹本纮平 .

中国专利 :CN103424983A ,2013-12-04

[9]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113406855A ,2021-09-17

[10]

光掩模坯料、光掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN111624848B ,2024-07-16

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