光掩模坯料及光掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310182144.9

申请日：

2013-05-16

公开(公告)号：

CN103424983A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

深谷创一中川秀夫笹本纮平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F138

IPC分类号：

G03F180

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

金龙河;穆德骏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101613986657 IPC(主分类):G03F 1/38 专利申请号:2013101821449 申请日:20130516
2013-12-04	公开	公开
2017-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

光掩模坯料及光掩模的制造方法 [P].

小岛洋介 ;

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

小板桥龙二 .

中国专利 :CN102656516B ,2012-09-05

[2]

光掩模坯料、光掩模的制造方法以及相移掩模的制造方法 [P].

深谷创一 ;

中川秀夫 ;

笹本纮平 .

中国专利 :CN103424980A ,2013-12-04

[3]

光掩模坯料及光掩模 [P].

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

冈崎智 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

高木干夫 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN101052917B ,2007-10-10

[4]

光掩模坯料、光掩模坯料制造方法和光掩模制造方法 [P].

高坂卓郎 ;

金子英雄 ;

入江重夫 ;

川浦直树 .

日本专利 :CN109307982B ,2024-09-03

[5]

光掩模坯料、光掩模的制造方法以及光掩模 [P].

松桥直树 .

中国专利 :CN112925163A ,2021-06-08

[6]

光掩模坯料、光掩模及光掩模的制造方法 [P].

野泽顺 .

中国专利 :CN101556432A ,2009-10-14

[7]

光掩模坯料、光掩模及光掩模的制造方法 [P].

坂本好史 ;

小岛洋介 ;

长友达也 .

中国专利 :CN110462510A ,2019-11-15

[8]

光掩模坯料、光掩模的制造方法以及光掩模 [P].

松桥直树 .

日本专利 :CN112925163B ,2024-06-21

[9]

光掩模坯料、光掩模坯料制造方法和光掩模制造方法 [P].

高坂卓郎 ;

金子英雄 ;

入江重夫 ;

川浦直树 .

中国专利 :CN109307982A ,2019-02-05

[10]

光掩模坯料及制造方法 [P].

高坂卓郎 ;

寺泽恒男 ;

入江重夫 ;

木下隆裕 .

中国专利 :CN109085737A ,2018-12-25

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