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基板冷却装置和基板冷却方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010099333.X
申请日：
2020-02-18
公开(公告)号：
CN111696888A
公开(公告)日：
2020-09-22
发明(设计)人：
萨米·K·哈托
乔治·萨科
马修·C·法雷尔
迪安·焦拉
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：
鹿屹;李雪春
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-22 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200218 |