检验方法和设备、光刻设备、光刻处理单元和器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980153558.0

申请日：

2009-12-17

公开(公告)号：

CN102272678A

公开(公告)日：

2011-12-07

发明(设计)人：

H·克拉莫 P·海恩

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101174509705 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009801535580 申请日:20091217
2011-12-07	公开	公开
2015-09-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101720402963 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009801535580 申请公布日:20111207

共 50 条

[1]

检验方法和设备、光刻设备、光刻处理单元和器件制造方法 [P].

H·克拉莫 ;

P·海恩 .

中国专利 :CN104834186B ,2015-08-12

[2]

检验方法和设备、光刻设备、光刻处理单元和器件制造方法 [P].

阿瑞·杰弗里·单勃拂 ;

斯特尼斯拉伍·Y·斯米尼挪伍 ;

安戴尔·琼比尤尔 .

中国专利 :CN101510051A ,2009-08-19

[3]

检验方法和设备、光刻设备、光刻单元和器件制造方法 [P].

雨果·奥古斯蒂纳斯·约瑟夫·克拉梅尔 .

中国专利 :CN101382737A ,2009-03-11

[4]

检验方法和设备、光刻设备、光刻单元和器件制造方法 [P].

亚历山大·斯卓艾杰尔 ;

罗纳德·弗朗西斯科斯·赫尔曼·休格斯 .

中国专利 :CN101251718A ,2008-08-27

[5]

检验设备和方法、光刻设备、光刻处理单元以及器件制造方法 [P].

理查德·金塔尼利亚 .

中国专利 :CN105359039B ,2016-02-24

[6]

检验设备、光刻设备、光刻处理单元以及检验方法 [P].

H·A·J·克瑞姆 ;

A·G·M·基尔斯 ;

H·P·M·派勒曼斯 .

中国专利 :CN101819384B ,2010-09-01

[7]

检查方法和设备、光刻设备和光刻处理单元 [P].

埃维哈德斯·科尼利斯·莫斯 ;

艾瑞·杰弗里·登保埃夫 ;

马瑞特斯·万德思查尔 ;

托马斯·利奥·玛丽亚·胡根鲍姆 .

中国专利 :CN101236359B ,2008-08-06

[8]

光刻设备和器件制造方法 [P].

约瑟夫·玛丽亚·芬德斯 .

中国专利 :CN101598902B ,2009-12-09

[9]

光刻设备和器件制造方法 [P].

R·T·P·考姆彭 ;

M·M·P·A·沃梅尤恩 ;

A·B·杰尤恩克 ;

E·R·鲁普斯卓 ;

J·J·奥腾斯 ;

P·斯密特斯 ;

H·J·M·凡阿毕伦 ;

A·A·梅尤恩迪杰克斯 ;

M·霍本 ;

R·W·A·H·理纳尔斯 .

中国专利 :CN101713929A ,2010-05-26

[10]

光刻设备和器件制造方法 [P].

A·J·布里克 ;

J·J·M·巴塞曼斯 ;

M·M·T·M·迪伊里奇斯 ;

C·瓦格纳 ;

L·赖齐科夫 ;

S·Y·斯米诺夫 ;

K·Z·特鲁斯特 .

中国专利 :CN101598904B ,2009-12-09

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