硅基板中间研磨用组合物及硅基板研磨用组合物套组

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880006314.9

申请日：

2018-02-06

公开(公告)号：

CN110177853A

公开(公告)日：

2019-08-27

发明(设计)人：

土屋公亮浅田真希百田怜史

申请人：

申请人地址：

日本爱知县

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

H01L21304 B24B3700

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-27	公开	公开
2019-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 3/14 申请日:20180206
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09K 3/14 申请公布日:20190827

共 50 条

[1]

硅基板的研磨方法及研磨用组合物套组 [P].

高见信一郎 ;

川崎雄介 .

中国专利 :CN108713242A ,2018-10-26

[2]

研磨用组合物和研磨用组合物套组 [P].

土屋公亮 ;

丹所久典 ;

市坪大辉 ;

浅田真希 .

中国专利 :CN109673157B ,2019-04-23

[3]

研磨用组合物及硅基板的研磨方法 [P].

土屋公亮 ;

市坪大辉 ;

丹所久典 ;

须贺裕介 .

中国专利 :CN108699425A ,2018-10-23

[4]

硅基板的研磨方法和研磨用组合物套组 [P].

田畑诚 .

日本专利 :CN108966673B ,2024-02-27

[5]

硅基板的研磨方法和研磨用组合物套组 [P].

田畑诚 .

中国专利 :CN108966673A ,2018-12-07

[6]

研磨用组合物 [P].

山崎智基 ;

牧野弘 .

中国专利 :CN111512419A ,2020-08-07

[7]

研磨用组合物 [P].

山崎智基 ;

牧野弘 .

日本专利 :CN111512419B ,2024-05-28

[8]

研磨用组合物 [P].

土屋公亮 ;

浅田真希 .

中国专利 :CN109996853A ,2019-07-09

[9]

研磨用组合物 [P].

土屋公亮 ;

浅田真希 .

日本专利 :CN119432323A ,2025-02-14

[10]

基板的研磨方法及研磨用组合物套组 [P].

田畑诚 .

中国专利 :CN110914958A ,2020-03-24

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