一种半导体单晶硅棒等径长度测量装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120280605.6
申请日
2021-02-01
公开(公告)号
CN215177544U
公开(公告)日
2021-12-14
发明(设计)人
李伦 齐风 孙晨光 王彦君
申请人
申请人地址
214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
IPC主分类号
G01B1102
IPC分类号
代理机构
天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211
代理人
薛萌萌
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅棒生产用长度测量装置 [P]. 
贠书印 ;
罗园 ;
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李一得 .
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[2]
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傅金生 ;
李洪峰 ;
李炳曌 ;
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朱佳磊 ;
张聪 ;
杜耀亭 ;
寇华 .
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[3]
一种用于测量单晶硅棒长度的装置 [P]. 
李爱萍 .
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[4]
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[5]
一种超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒 [P]. 
蒋继林 ;
王刚 ;
刘学军 .
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[6]
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蒋继林 ;
王刚 ;
刘学军 .
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[7]
一种半导体直拉单晶硅棒自动分段设备 [P]. 
孙新利 ;
徐一俊 ;
郭兵健 ;
黄笑容 ;
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[8]
一种安全性高的单晶硅棒生产用长度测量装置 [P]. 
陈锡元 .
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[9]
单晶硅半导体晶片 [P]. 
A·拜尔 ;
S·韦尔施 .
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[10]
一种用于单晶硅棒的测量装置 [P]. 
傅金生 ;
李洪峰 ;
李炳曌 ;
余振亚 ;
朱佳磊 ;
张聪 ;
杜耀亭 ;
寇华 .
中国专利 :CN109029197A ,2018-12-18