缺陷检测器和缺陷检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200410079711.9
申请日
2004-09-17
公开(公告)号
CN1281923C
公开(公告)日
2005-03-23
发明(设计)人
三田章生
申请人
申请人地址
日本京都府
IPC主分类号
G01B1130
IPC分类号
代理机构
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人
经志强;潘培坤
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
缺陷面积检测器及其检测方法 [P]. 
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[2]
多检测器缺陷检测系统和用于检测缺陷的方法 [P]. 
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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