水平步进式溅镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020123674.8

申请日：

2010-03-05

公开(公告)号：

CN201648508U

公开(公告)日：

2010-11-24

发明(设计)人：

黄一原李福元陈绍伟卢木森

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司 11355

代理人：

张雅军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-11-24	授权	授权
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20100305 授权公告日:20101124 终止日期:20190305

共 50 条

[1]

连续式溅镀设备 [P].

张庆州 .

中国专利 :CN103147048A ,2013-06-12

[2]

连续式溅镀设备 [P].

吴清沂 ;

吴政道 ;

简谷卫 ;

黄有为 ;

黄圣涵 ;

辜建烨 ;

沈俊宏 .

中国专利 :CN202717840U ,2013-02-06

[3]

溅镀设备及溅镀方法 [P].

许民庆 ;

储培鸣 .

中国专利 :CN104109835A ,2014-10-22

[4]

溅镀标靶部件、溅镀设备及溅镀方法 [P].

鍾承芳 ;

郑文正 ;

杨博文 ;

何明杰 ;

吕彦姿 ;

邓承翊 .

中国专利 :CN113265632A ,2021-08-17

[5]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[6]

溅镀设备及使用所述溅镀设备的溅镀方法 [P].

李大龙 ;

朴俊雨 ;

姜京锡 .

中国专利 :CN115029673A ,2022-09-09

[7]

溅镀设备 [P].

王仲培 .

中国专利 :CN102433538A ,2012-05-02

[8]

一种溅镀托盘和溅镀设备 [P].

陈广平 ;

徐彬 ;

欧义星 .

中国专利 :CN222834383U ,2025-05-06

[9]

一种水平往复式溅镀设备 [P].

吴允中 ;

高为彪 .

中国专利 :CN205024315U ,2016-02-10

[10]

连续式蒸镀溅镀机 [P].

林政乾 ;

戴明光 ;

马伟平 .

中国专利 :CN2602034Y ,2004-02-04

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