连续式溅镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220306687.8

申请日：

2012-06-28

公开(公告)号：

CN202717840U

公开(公告)日：

2013-02-06

发明(设计)人：

吴清沂吴政道简谷卫黄有为黄圣涵辜建烨沈俊宏

申请人：

申请人地址：

中国台湾台南市

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司 11355

代理人：

张雅军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-06	授权	授权
2016-08-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101675747946 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2012203066878 申请日:20120628 授权公告日:20130206 终止日期:20150628

共 50 条

[1]

连续式溅镀设备 [P].

张庆州 .

中国专利 :CN103147048A ,2013-06-12

[2]

溅镀设备及溅镀方法 [P].

许民庆 ;

储培鸣 .

中国专利 :CN104109835A ,2014-10-22

[3]

溅镀标靶部件、溅镀设备及溅镀方法 [P].

鍾承芳 ;

郑文正 ;

杨博文 ;

何明杰 ;

吕彦姿 ;

邓承翊 .

中国专利 :CN113265632A ,2021-08-17

[4]

溅镀设备及使用所述溅镀设备的溅镀方法 [P].

李大龙 ;

朴俊雨 ;

姜京锡 .

中国专利 :CN115029673A ,2022-09-09

[5]

溅镀设备 [P].

王仲培 .

中国专利 :CN102433538A ,2012-05-02

[6]

水平步进式溅镀设备 [P].

黄一原 ;

李福元 ;

陈绍伟 ;

卢木森 .

中国专利 :CN201648508U ,2010-11-24

[7]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[8]

一种溅镀托盘和溅镀设备 [P].

陈广平 ;

徐彬 ;

欧义星 .

中国专利 :CN222834383U ,2025-05-06

[9]

一种循环式溅镀设备 [P].

陈道理 .

中国专利 :CN209989458U ,2020-01-24

[10]

定点式厚膜真空溅镀设备 [P].

姚朝祯 ;

李智渊 .

中国专利 :CN201224758Y ,2009-04-22

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