一种循环式溅镀设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201920733692.9
申请日
2019-05-21
公开(公告)号
CN209989458U
公开(公告)日
2020-01-24
发明(设计)人
陈道理
申请人
申请人地址
211700 江苏省淮安市马坝镇文明东路1188号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种溅镀托盘和溅镀设备 [P]. 
陈广平 ;
徐彬 ;
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[2]
一种快拆式溅镀阴极 [P]. 
姚朝祯 .
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[3]
一种溅镀方法及溅镀设备 [P]. 
范继良 ;
杨明生 ;
谢金桥 ;
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[4]
连续式溅镀设备 [P]. 
张庆州 .
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[5]
连续式溅镀设备 [P]. 
吴清沂 ;
吴政道 ;
简谷卫 ;
黄有为 ;
黄圣涵 ;
辜建烨 ;
沈俊宏 .
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[6]
溅镀设备及溅镀方法 [P]. 
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储培鸣 .
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[7]
溅镀标靶部件、溅镀设备及溅镀方法 [P]. 
鍾承芳 ;
郑文正 ;
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何明杰 ;
吕彦姿 ;
邓承翊 .
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[8]
溅镀设备及使用所述溅镀设备的溅镀方法 [P]. 
李大龙 ;
朴俊雨 ;
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[9]
溅镀设备 [P]. 
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[10]
水平步进式溅镀设备 [P]. 
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李福元 ;
陈绍伟 ;
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