一种溅镀托盘和溅镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421785458.8

申请日：

2024-07-26

公开(公告)号：

CN222834383U

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

陈广平徐彬欧义星

申请人：

怡洋半导体（深圳）有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道盛平社区龙城大道126号维百盛大厦1802

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/50

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

张英凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

溅镀标靶部件、溅镀设备及溅镀方法 [P].

鍾承芳 ;

郑文正 ;

杨博文 ;

何明杰 ;

吕彦姿 ;

邓承翊 .

中国专利 :CN113265632A ,2021-08-17

[2]

溅镀设备及溅镀方法 [P].

许民庆 ;

储培鸣 .

中国专利 :CN104109835A ,2014-10-22

[3]

溅镀设备及使用所述溅镀设备的溅镀方法 [P].

李大龙 ;

朴俊雨 ;

姜京锡 .

中国专利 :CN115029673A ,2022-09-09

[4]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[5]

溅镀设备 [P].

王仲培 .

中国专利 :CN102433538A ,2012-05-02

[6]

一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置 [P].

白雨成 ;

全义九 ;

李相文 ;

张昌泳 ;

丁钟国 ;

边娜恩 .

中国专利 :CN208293074U ,2018-12-28

[7]

一种溅镀机及其溅镀工艺 [P].

林行 ;

葛健国 ;

吕育仁 ;

范小荣 ;

朱育民 ;

庄胜智 .

中国专利 :CN110819947A ,2020-02-21

[8]

一种溅镀空间可调的溅镀机 [P].

王光华 .

中国专利 :CN215560626U ,2022-01-18

[9]

一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P].

郑志铭 .

中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30

[10]

溅镀防绕射托盘 [P].

施渊仁 ;

魏建平 ;

李壇华 ;

张秋 .

中国专利 :CN202401125U ,2012-08-29

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