一种溅镀空间可调的溅镀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120496896.2

申请日：

2021-03-09

公开(公告)号：

CN215560626U

公开(公告)日：

2022-01-18

发明(设计)人：

王光华

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山开发区高科技工业园都市路21号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374

代理人：

汪发成

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种溅镀机及其溅镀工艺 [P].

林行 ;

葛健国 ;

吕育仁 ;

范小荣 ;

朱育民 ;

庄胜智 .

中国专利 :CN110819947A ,2020-02-21

[2]

连续式蒸镀溅镀机 [P].

林政乾 ;

戴明光 ;

马伟平 .

中国专利 :CN2602034Y ,2004-02-04

[3]

黄宇庆 .

中国专利 :CN102747331A ,2012-10-24

[4]

一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置 [P].

白雨成 ;

全义九 ;

李相文 ;

张昌泳 ;

丁钟国 ;

边娜恩 .

中国专利 :CN208293074U ,2018-12-28

[5]

一种高效的溅镀装置 [P].

霍凯 .

中国专利 :CN208440690U ,2019-01-29

[6]

溅镀装置及溅镀方法 [P].

谭伟 .

中国专利 :CN110029319A ,2019-07-19

[7]

溅镀机构以及包含其的溅镀装置 [P].

林伟德 ;

杨宏河 ;

孙湘平 ;

张元铭 ;

廖泯谚 .

中国专利 :CN201530861U ,2010-07-21

[8]

一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P].

郑志铭 .

中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30

[9]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[10]

溅镀磁吸盘及溅镀下料装置 [P].

翟金双 .

中国专利 :CN210943885U ,2020-07-07

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