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一种高效的溅镀装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821084298.9
申请日：
2018-07-10
公开(公告)号：
CN208440690U
公开(公告)日：
2019-01-29
发明(设计)人：
霍凯
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区嵩山路128号
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20180710 授权公告日:20190129 终止日期:20210710 |
| 2019-01-29 | 授权 | 授权 |