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一种全自动溅镀装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920728459.1
申请日：
2019-05-21
公开(公告)号：
CN210314466U
公开(公告)日：
2020-04-14
发明(设计)人：
陈道理
申请人：
申请人地址：
211700 江苏省淮安市马坝镇文明东路1188号
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-14 | 授权 | 授权 |