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一种溅镀自动抽测装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202423010824.5
申请日
:
2024-12-06
公开(公告)号
:
CN223646618U
公开(公告)日
:
2025-12-09
发明(设计)人
:
何红锐
吴志军
吴中林
申请人
:
宁波晶创科技有限公司
申请人地址
:
315800 浙江省宁波市北仑区黄山西路189号
IPC主分类号
:
C23C14/34
IPC分类号
:
C23C14/54
代理机构
:
杭州知见专利代理有限公司 33295
代理人
:
黄奇锋
法律状态
:
授权
国省代码
:
浙江省 宁波市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-12-09
授权
授权
共 50 条
[1]
溅镀装置
[P].
林祺芳
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林祺芳
;
曾子峻
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曾子峻
.
中国专利
:CN2525101Y
,2002-12-11
[2]
一种全自动溅镀装置
[P].
陈道理
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陈道理
.
中国专利
:CN210314466U
,2020-04-14
[3]
一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置
[P].
白雨成
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白雨成
;
全义九
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全义九
;
李相文
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李相文
;
张昌泳
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张昌泳
;
丁钟国
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丁钟国
;
边娜恩
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边娜恩
.
中国专利
:CN208293074U
,2018-12-28
[4]
一种溅镀装置
[P].
白雨成
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白雨成
;
全义九
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全义九
;
李相文
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李相文
;
张昌泳
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张昌泳
;
丁钟国
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丁钟国
;
边娜恩
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边娜恩
.
中国专利
:CN208038540U
,2018-11-02
[5]
一种溅镀托盘和溅镀设备
[P].
陈广平
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机构:
怡洋半导体(深圳)有限公司
怡洋半导体(深圳)有限公司
陈广平
;
徐彬
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机构:
怡洋半导体(深圳)有限公司
怡洋半导体(深圳)有限公司
徐彬
;
欧义星
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机构:
怡洋半导体(深圳)有限公司
怡洋半导体(深圳)有限公司
欧义星
.
中国专利
:CN222834383U
,2025-05-06
[6]
溅镀装置
[P].
方振籛
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方振籛
;
郭金柱
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郭金柱
;
郑博仁
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郑博仁
;
黄泳钊
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黄泳钊
.
中国专利
:CN208632634U
,2019-03-22
[7]
溅镀装置
[P].
陈世浦
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陈世浦
;
林东达
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林东达
;
黄炳勋
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黄炳勋
.
中国专利
:CN202187057U
,2012-04-11
[8]
溅镀装置
[P].
王仲培
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王仲培
.
中国专利
:CN102277559A
,2011-12-14
[9]
一种溅镀空间可调的溅镀机
[P].
王光华
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王光华
.
中国专利
:CN215560626U
,2022-01-18
[10]
一种用于真空溅镀的溅镀靶
[P].
郑志铭
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0
郑志铭
.
中国专利
:CN202705455U
,2013-01-30
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