溅镀装置及溅镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910360190.0

申请日：

2019-04-30

公开(公告)号：

CN110029319A

公开(公告)日：

2019-07-19

发明(设计)人：

谭伟

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20190719
2019-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190430
2019-07-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[2]

一种溅镀空间可调的溅镀机 [P].

王光华 .

中国专利 :CN215560626U ,2022-01-18

[3]

连续式蒸镀溅镀机 [P].

林政乾 ;

戴明光 ;

马伟平 .

中国专利 :CN2602034Y ,2004-02-04

[4]

连续式真空溅镀装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 .

中国专利 :CN201501926U ,2010-06-09

[5]

连续镀膜溅镀系统 [P].

周兴 .

中国专利 :CN214529219U ,2021-10-29

[6]

真空溅镀装置及其使用方法 [P].

张杰 ;

解毅 ;

何雅彬 ;

赵洪涛 ;

王喆 ;

马东 ;

吴奇昆 ;

沈瑜俊 ;

孙亭 .

中国专利 :CN102634766B ,2012-08-15

[7]

水平步进式溅镀设备 [P].

黄一原 ;

李福元 ;

陈绍伟 ;

卢木森 .

中国专利 :CN201648508U ,2010-11-24

[8]

一种高效的溅镀装置 [P].

霍凯 .

中国专利 :CN208440690U ,2019-01-29

[9]

光盘溅镀机的磁场发生装置 [P].

郭晓明 .

中国专利 :CN201207319Y ,2009-03-11

[10]

一种全自动溅镀装置 [P].

陈道理 .

中国专利 :CN210314466U ,2020-04-14

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