一种线列式有机金属化合物气相淀积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120338031.X

申请日：

2011-09-09

公开(公告)号：

CN202246847U

公开(公告)日：

2012-05-30

发明(设计)人：

崔军吴国发杨武斌辛科王奇

申请人：

申请人地址：

102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院

IPC主分类号：

C23C1618

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700115234 IPC(主分类):C23C 16/18 专利号:ZL201120338031X 变更事项:专利权人变更前:汉能科技有限公司变更后:汉能太阳能光伏科技有限公司变更事项:地址变更前:102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院变更后:100107 北京市朝阳区安立路0-A号
2012-05-30	授权	授权
2021-09-28	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/18 申请日:20110909 授权公告日:20120530

共 50 条

[1]

一种线列式有机金属化合物气相淀积系统及方法 [P].

崔军 ;

吴国发 ;

杨武斌 ;

辛科 ;

王奇 .

中国专利 :CN102296285A ,2011-12-28

[2]

一种有机金属化合物气相淀积系统 [P].

李冰妍 .

中国专利 :CN215976032U ,2022-03-08

[3]

用于化学汽相淀积的有机金属化合物及其制造方法,钌膜及钌化合物膜的化学汽相淀积法 [P].

冈本浩治 .

中国专利 :CN1185241C ,2002-07-10

[4]

淀积金属化合物层的方法和用于淀积金属化合物层的设备 [P].

徐廷勳 ;

朴泳旭 ;

洪镇基 ;

具京范 ;

李殷泽 .

中国专利 :CN1789487A ,2006-06-21

[5]

有机金属化合物 [P].

S·赫里奇 ;

J·松德迈尔 ;

A·里瓦斯纳斯 ;

O·布里奥 ;

R·卡奇 ;

W·朔恩 ;

A·弗雷 ;

A·多皮乌 ;

E·沃尔奈尔 .

中国专利 :CN112805290A ,2021-05-14

[6]

有机金属化合物 [P].

D·V·舍奈－卡特喀特 ;

H·李 ;

王清民 .

中国专利 :CN101348900A ,2009-01-21

[7]

有机金属化合物 [P].

D·V·舍奈－卡特克哈特 ;

Q·M·王 .

中国专利 :CN101121733A ,2008-02-13

[8]

有机金属化合物 [P].

Q·M·王 ;

D·V·谢奈-卡特哈特 ;

H·李 .

中国专利 :CN102031495A ,2011-04-27

[9]

有机金属化合物 [P].

H·蔡 .

中国专利 :CN101139365A ,2008-03-12

[10]

有机金属化合物 [P].

D·V·舍奈－卡特克哈特 ;

Q·M·王 .

中国专利 :CN101182339A ,2008-05-21

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