一种有机金属化合物气相淀积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122301185.8

申请日：

2021-09-23

公开(公告)号：

CN215976032U

公开(公告)日：

2022-03-08

发明(设计)人：

李冰妍

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市江宁区苏源大道19号九龙湖国际企业总部园B5座二层(江宁开发区)

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1606 B01D4610

代理机构：

滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167

代理人：

史芳

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种线列式有机金属化合物气相淀积系统 [P].

崔军 ;

吴国发 ;

杨武斌 ;

辛科 ;

王奇 .

中国专利 :CN202246847U ,2012-05-30

[2]

一种线列式有机金属化合物气相淀积系统及方法 [P].

崔军 ;

吴国发 ;

杨武斌 ;

辛科 ;

王奇 .

中国专利 :CN102296285A ,2011-12-28

[3]

用于化学汽相淀积的有机金属化合物及其制造方法,钌膜及钌化合物膜的化学汽相淀积法 [P].

冈本浩治 .

中国专利 :CN1185241C ,2002-07-10

[4]

淀积金属化合物层的方法和用于淀积金属化合物层的设备 [P].

徐廷勳 ;

朴泳旭 ;

洪镇基 ;

具京范 ;

李殷泽 .

中国专利 :CN1789487A ,2006-06-21

[5]

有机金属化合物 [P].

S·赫里奇 ;

J·松德迈尔 ;

A·里瓦斯纳斯 ;

O·布里奥 ;

R·卡奇 ;

W·朔恩 ;

A·弗雷 ;

A·多皮乌 ;

E·沃尔奈尔 .

中国专利 :CN112805290A ,2021-05-14

[6]

有机金属化合物 [P].

D·V·舍奈－卡特喀特 ;

H·李 ;

王清民 .

中国专利 :CN101348900A ,2009-01-21

[7]

有机金属化合物 [P].

D·V·舍奈－卡特克哈特 ;

Q·M·王 .

中国专利 :CN101121733A ,2008-02-13

[8]

有机金属化合物 [P].

Q·M·王 ;

D·V·谢奈-卡特哈特 ;

H·李 .

中国专利 :CN102031495A ,2011-04-27

[9]

有机金属化合物 [P].

H·蔡 .

中国专利 :CN101139365A ,2008-03-12

[10]

有机金属化合物 [P].

D·V·舍奈－卡特克哈特 ;

Q·M·王 .

中国专利 :CN101182339A ,2008-05-21

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