互连结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010569402.5

申请日：

2010-12-01

公开(公告)号：

CN102487036B

公开(公告)日：

2012-06-06

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101302726811 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2010105694025 申请日:20101201
2012-06-06	公开	公开
2014-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构的制造方法 [P].

尹晓明 ;

张海洋 ;

周俊卿 ;

孙武 .

中国专利 :CN102468219B ,2012-05-23

[2]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104078415A ,2014-10-01

[3]

互连结构制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094198A ,2013-05-08

[4]

互连结构制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094197A ,2013-05-08

[5]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103258779B ,2013-08-21

[6]

金属互连结构的制造方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 ;

张城龙 .

中国专利 :CN103094199B ,2013-05-08

[7]

金属互连结构的制造方法 [P].

由云鹏 .

中国专利 :CN104576516A ,2015-04-29

[8]

用于制造互连结构的方法 [P].

徐民翰 ;

曹荣志 ;

陈俊彰 .

中国专利 :CN113161284B ,2025-03-14

[9]

用于制造互连结构的方法 [P].

徐民翰 ;

曹荣志 ;

陈俊彰 .

中国专利 :CN113161284A ,2021-07-23

[10]

互连结构及其制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094196A ,2013-05-08

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