互连结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310105947.4

申请日：

2013-03-28

公开(公告)号：

CN104078415A

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-01	公开	公开
2019-10-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20141001
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587976069 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013101059474 申请日:20130328

共 50 条

[1]

互连结构的制造方法 [P].

何其旸 ;

张翼英 .

中国专利 :CN102693935A ,2012-09-26

[2]

制造互连结构的方法及由其制造的互连结构 [P].

克里斯托·D.·迪米特拉克普洛斯 ;

斯蒂芬·M.·盖茨 ;

文森特·J.·麦克加哈 ;

桑佳·C.·梅塔 .

中国专利 :CN1832128A ,2006-09-13

[3]

互连结构制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094198A ,2013-05-08

[4]

互连结构制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094197A ,2013-05-08

[5]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103871962A ,2014-06-18

[6]

互连结构及其制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094196A ,2013-05-08

[7]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103871961A ,2014-06-18

[8]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102487036B ,2012-06-06

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[10]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

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