制造互连结构的方法及由其制造的互连结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610004164.7

申请日：

2006-02-21

公开(公告)号：

CN1832128A

公开(公告)日：

2006-09-13

发明(设计)人：

克里斯托·D.·迪米特拉克普洛斯斯蒂芬·M.·盖茨文森特·J.·麦克加哈桑佳·C.·梅塔

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-12	授权	授权
2017-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/768 登记生效日:20171130 变更事项:专利权人变更前权利人:格芯美国第二有限责任公司变更后权利人:格芯公司变更事项:地址变更前权利人:美国纽约变更后权利人:开曼群岛大开曼岛
2006-09-13	公开	公开
2006-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/768 登记生效日:20171130 变更事项:专利权人变更前权利人:国际商业机器公司变更后权利人:格芯美国第二有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国纽约变更后权利人:美国纽约

共 50 条

[1]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104078415A ,2014-10-01

[2]

互连结构及其制造方法 [P].

张海洋 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN103456679B ,2013-12-18

[3]

互连结构 [P].

游耀鸿 ;

何大椿 ;

吴国铭 ;

陈盈德 ;

陈益民 .

中国专利 :CN222261056U ,2024-12-27

[4]

互连结构 [P].

杨士亿 ;

李明翰 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN113451204A ,2021-09-28

[5]

形成互连结构的方法 [P].

V·普拉亚斯 ;

周俭 ;

K·欧哈马 .

美国专利 :CN119816937A ,2025-04-11

[6]

互连结构及方法 [P].

陈新瑜 ;

杨固峰 ;

吴采蓉 ;

黄麟智 ;

刘源鸿 ;

吴仓聚 ;

邱文智 .

中国专利 :CN109560038A ,2019-04-02

[7]

互连结构及方法 [P].

陈新瑜 ;

杨固峰 ;

吴采蓉 ;

黄麟智 ;

刘源鸿 ;

吴仓聚 ;

邱文智 .

中国专利 :CN103681597A ,2014-03-26

[8]

降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102214600A ,2011-10-12

[9]

互连结构的制备方法 [P].

刘扬 ;

曲厚任 ;

鲍丙辉 .

中国专利 :CN115376997A ,2022-11-22

[10]

互连结构的形成方法 [P].

聂佳相 ;

刘盛 ;

杨瑞鹏 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102054750A ,2011-05-11

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