互连结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210183504.2

申请日：

2012-06-05

公开(公告)号：

CN103456679B

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

张海洋符雅丽

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562723503 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2012101835042 申请日:20120605
2016-02-03	授权	授权
2013-12-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种互连结构及其制作方法 [P].

赵宇航 ;

康晓旭 .

中国专利 :CN102403304A ,2012-04-04

[2]

互连结构及其制造方法 [P].

李回 ;

黄柏翔 ;

黄文社 ;

王仁宏 ;

宋述仁 ;

纪志坚 ;

李佩璇 .

中国专利 :CN113284876B ,2024-12-20

[3]

互连结构及其制造方法 [P].

聂鹏飞 ;

粟雅娟 ;

朱慧珑 ;

赵超 ;

贾昆鹏 ;

杨杰 .

中国专利 :CN103943599A ,2014-07-23

[4]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107680932B ,2018-02-09

[5]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107564888B ,2018-01-09

[6]

互连结构及其制造方法 [P].

李回 ;

黄柏翔 ;

黄文社 ;

王仁宏 ;

宋述仁 ;

纪志坚 ;

李佩璇 .

中国专利 :CN113284876A ,2021-08-20

[7]

金属互连结构及其制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN103985669A ,2014-08-13

[8]

铜互连结构及其制造方法 [P].

杨智超 ;

M.A.伯根达尔 ;

D.V.霍勒克 ;

李保振 ;

S.波诺思 .

中国专利 :CN103811464B ,2014-05-21

[9]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102956539B ,2013-03-06

[10]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103247601B ,2013-08-14

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