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互连结构及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610512129.X
申请日：
2016-07-01
公开(公告)号：
CN107564888B
公开(公告)日：
2018-01-09
发明(设计)人：
周鸣
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L23532
IPC分类号：
H01L21768
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
刘倜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-09 | 公开 | 公开 |
| 2020-09-15 | 授权 | 授权 |
| 2018-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/532 申请日:20160701 |