互连结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110342110.2

申请日：

2011-11-02

公开(公告)号：

CN103094196A

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

王冬江张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23538

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-03	授权	授权
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468535128 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011103421102 申请日:20111102
2013-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094197A ,2013-05-08

[2]

互连结构制造方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103094198A ,2013-05-08

[3]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103247601B ,2013-08-14

[4]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103258779B ,2013-08-21

[5]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107564888B ,2018-01-09

[6]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104078415A ,2014-10-01

[7]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102487036B ,2012-06-06

[8]

互连结构的制造方法 [P].

何其旸 ;

张翼英 .

中国专利 :CN102693935A ,2012-09-26

[9]

金属互连结构的制造方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 ;

张城龙 .

中国专利 :CN103094199B ,2013-05-08

[10]

互连结构及其制备方法 [P].

平延磊 ;

李天慧 ;

马强 .

中国专利 :CN111192851A ,2020-05-22

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