互连结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110184546.7

申请日：

2021-02-10

公开(公告)号：

CN113284876B

公开(公告)日：

2024-12-20

发明(设计)人：

李回黄柏翔黄文社王仁宏宋述仁纪志坚李佩璇

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

H01L23/528

IPC分类号：

H01L23/532 H01L21/768

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;李伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-20	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构及其制造方法 [P].

李回 ;

黄柏翔 ;

黄文社 ;

王仁宏 ;

宋述仁 ;

纪志坚 ;

李佩璇 .

中国专利 :CN113284876A ,2021-08-20

[2]

互连结构及其制造方法 [P].

张海洋 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN103456679B ,2013-12-18

[3]

互连结构及其制造方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN107591357B ,2018-01-16

[4]

铜互连结构及其制造方法 [P].

杨智超 ;

M.A.伯根达尔 ;

D.V.霍勒克 ;

李保振 ;

S.波诺思 .

中国专利 :CN103811464B ,2014-05-21

[5]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102956539B ,2013-03-06

[6]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103247601B ,2013-08-14

[7]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103258779B ,2013-08-21

[8]

金属互连结构及其制造方法 [P].

田范焕 ;

梁时元 ;

高建峰 ;

刘卫兵 ;

张月 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114520187A ,2022-05-20

[9]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 ;

洪中山 .

中国专利 :CN103165513B ,2013-06-19

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

陈丙晨 ;

吴佳宏 ;

张文广 .

中国专利 :CN115148664A ,2022-10-04

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