研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420291434.7

申请日：

2014-06-03

公开(公告)号：

CN204075988U

公开(公告)日：

2015-01-07

发明(设计)人：

唐强卢勇张溢钢马智勇

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B3704

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-07	授权	授权
2020-05-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/34 申请日:20140603 授权公告日:20150107 终止日期:20190603

共 50 条

[1]

研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202825548U ,2013-03-27

[2]

研磨垫调整器和化学机械研磨装置 [P].

宋林飞 .

中国专利 :CN203993547U ,2014-12-10

[3]

研磨垫调整器及检测方法、化学机械研磨装置 [P].

纪伟进 ;

吕良伟 .

中国专利 :CN118372176A ,2024-07-23

[4]

研磨垫调整器及研磨装置 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN203438064U ,2014-02-19

[5]

化学机械研磨装置及化学机械研磨工艺研磨垫清洗装置 [P].

李松 ;

宋振伟 ;

张守龙 .

中国专利 :CN112476243A ,2021-03-12

[6]

研磨盘、研磨垫调整器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN206357051U ,2017-07-28

[7]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245721U ,2013-10-23

[8]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245722U ,2013-10-23

[9]

研磨垫及化学机械研磨装置 [P].

谭玉荣 .

中国专利 :CN206567983U ,2017-10-20

[10]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

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