研磨调整装置及化学机械研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320260048.7

申请日：

2013-05-14

公开(公告)号：

CN203245722U

公开(公告)日：

2013-10-23

发明(设计)人：

唐强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B3711 B24B3700

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-23	授权	授权
2020-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/34 申请日:20130514 授权公告日:20131023 终止日期:20190514

共 50 条

[1]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245721U ,2013-10-23

[2]

研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 ;

卢勇 ;

张溢钢 ;

马智勇 .

中国专利 :CN204075988U ,2015-01-07

[3]

研磨垫调整装置 [P].

王哲 ;

孙涛 ;

张春磊 ;

宋辉英 ;

任洁 .

中国专利 :CN201940892U ,2011-08-24

[4]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

沈新林 ;

王海宽 ;

郭松辉 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208663469U ,2019-03-29

[5]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

王跃林 ;

许力介 ;

韩志祥 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN223383257U ,2025-09-26

[6]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

岳志刚 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

辛君 .

中国专利 :CN207326710U ,2018-05-08

[7]

研磨垫及化学机械研磨装置 [P].

谭玉荣 .

中国专利 :CN206567983U ,2017-10-20

[8]

研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202825548U ,2013-03-27

[9]

用于研磨垫调整装置的机械臂 [P].

邵群 .

中国专利 :CN201483358U ,2010-05-26

[10]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

邬良 .

中国专利 :CN112959223A ,2021-06-15

← 1 2 3 4 5 →