用于研磨垫调整装置的机械臂

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920208485.8

申请日：

2009-08-26

公开(公告)号：

CN201483358U

公开(公告)日：

2010-05-26

发明(设计)人：

邵群

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20090826 授权公告日:20100526 终止日期:20180826
2013-03-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101545796593 IPC(主分类):B24B 37/04 专利号:ZL2009202084858 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130226
2010-05-26	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫调整装置 [P].

王哲 ;

孙涛 ;

张春磊 ;

宋辉英 ;

任洁 .

中国专利 :CN201940892U ,2011-08-24

[2]

研磨垫调整装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202367588U ,2012-08-08

[3]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245721U ,2013-10-23

[4]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245722U ,2013-10-23

[5]

一种研磨垫调整装置 [P].

吴江波 ;

周维娜 .

中国专利 :CN203993546U ,2014-12-10

[6]

研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 ;

卢勇 ;

张溢钢 ;

马智勇 .

中国专利 :CN204075988U ,2015-01-07

[7]

用于化学机械研磨装置的研磨垫和化学机械研磨装置 [P].

刘慧超 ;

高林 .

中国专利 :CN215470444U ,2022-01-11

[8]

研磨垫调整器及调整装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN205438219U ,2016-08-10

[9]

研磨垫调整器和化学机械研磨装置 [P].

宋林飞 .

中国专利 :CN203993547U ,2014-12-10

[10]

研磨垫调整装置及研磨设备 [P].

刘聪 ;

赵朵朵 ;

左玲玲 .

中国专利 :CN118493256A ,2024-08-16

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