研磨垫调整装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120510753.9

申请日：

2011-12-08

公开(公告)号：

CN202367588U

公开(公告)日：

2012-08-08

发明(设计)人：

唐强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-08	授权	授权
2013-06-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101602215247 IPC(主分类):B24B 37/34 专利号:ZL2011205107539 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130507
2019-11-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/34 申请日:20111208 授权公告日:20120808 终止日期:20181208

共 50 条

[1]

研磨垫调整装置 [P].

王哲 ;

孙涛 ;

张春磊 ;

宋辉英 ;

任洁 .

中国专利 :CN201940892U ,2011-08-24

[2]

用于研磨垫调整装置的机械臂 [P].

邵群 .

中国专利 :CN201483358U ,2010-05-26

[3]

研磨垫调整器及调整装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN205438219U ,2016-08-10

[4]

一种研磨垫调整装置 [P].

吴江波 ;

周维娜 .

中国专利 :CN203993546U ,2014-12-10

[5]

研磨垫调整装置及研磨设备 [P].

刘聪 ;

赵朵朵 ;

左玲玲 .

中国专利 :CN118493256A ,2024-08-16

[6]

一种研磨晶圆用研磨垫调整装置 [P].

陈艳琼 ;

尹志军 ;

申振 .

中国专利 :CN215920121U ,2022-03-01

[7]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245721U ,2013-10-23

[8]

研磨调整装置及化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203245722U ,2013-10-23

[9]

研磨垫修整装置 [P].

岳志刚 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210210001U ,2020-03-31

[10]

研磨盘、研磨垫调整器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN206357051U ,2017-07-28

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