一种无氢型非晶碳膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811516661.4

申请日：

2018-12-12

公开(公告)号：

CN111304587B

公开(公告)日：

2020-06-19

发明(设计)人：

刘畅刘晓阳张钦辉张海峰

申请人：

申请人地址：

101102 北京市通州区中关村科技园区通州园光机电一体化产业基地兴光四街5号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1416 C23C1435

代理机构：

北京智晨知识产权代理有限公司 11584

代理人：

张婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20181212
2022-06-24	授权	授权
2020-06-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种无氢掺铝非晶碳膜、制备方法及其应用 [P].

郭朝乾 ;

汪唯 ;

李洪 ;

许伟 ;

王红莉 ;

彭雅利 ;

林松盛 ;

石倩 ;

韦春贝 ;

苏一凡 ;

唐鹏 ;

朱霞高 ;

代明江 .

中国专利 :CN110468374A ,2019-11-19

[2]

一种非晶碳膜的制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114231942A ,2022-03-25

[3]

一种表面改性非晶碳膜的消融针和非晶碳膜的制备方法 [P].

曹旭丹 ;

宓娅娜 ;

杨辉 .

中国专利 :CN115505877A ,2022-12-23

[4]

一种非晶碳膜半导体制备方法 [P].

徐骏 ;

陈坤基 ;

徐岭 ;

李伟 ;

黄信凡 ;

马忠元 .

中国专利 :CN101000866A ,2007-07-18

[5]

一种超润滑无氢非晶碳基薄膜及其制备方法 [P].

陈琳 ;

张广安 ;

李东山 ;

周野飞 ;

王福 ;

尚伦霖 .

中国专利 :CN121023428A ,2025-11-28

[6]

非晶碳膜、形成非晶碳膜的方法、具有非晶碳膜的导电性部件以及燃料电池用隔板 [P].

伊关崇 ;

山田由香 ;

中西和之 ;

大岛正 ;

森广行 ;

堀江俊男 ;

铃木宪一 ;

北原学 .

中国专利 :CN101448740B ,2009-06-03

[7]

一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196938B ,2024-02-20

[8]

一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196938A ,2022-03-18

[9]

一种类金刚石非晶碳膜与类石墨非晶碳膜复合的非晶碳镀层的制备工艺 [P].

聂雄辉 ;

陈明辉 ;

黄榜 ;

侯东卫 ;

赵杰 ;

陈大力 .

中国专利 :CN120866815A ,2025-10-31

[10]

非晶碳膜的膜厚监测方法 [P].

王莎莎 ;

张富伟 ;

袁智琦 ;

陈东华 .

中国专利 :CN110243331A ,2019-09-17

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