一种类金刚石非晶碳膜与类石墨非晶碳膜复合的非晶碳镀层的制备工艺

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专利类型
发明
申请号
CN202511067911.0
申请日
2025-07-31
公开(公告)号
CN120866815A
公开(公告)日
2025-10-31
发明(设计)人
聂雄辉 陈明辉 黄榜 侯东卫 赵杰 陈大力
申请人
深圳市弘和富科技有限公司 东北大学
申请人地址
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301号银星科技大厦A1004
IPC主分类号
C23C28/00
IPC分类号
C23C16/26 C23C16/50 C23C14/16 C23C14/06 C23C14/34
代理机构
厦门思说知识产权代理事务所(普通合伙) 35319
代理人
何县香
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种纳米类金刚石非晶碳膜及其制备方法与应用 [P]. 
田灿鑫 ;
刘光元 ;
吴会荣 ;
林涛峰 ;
邹长伟 .
中国专利 :CN115198241B ,2024-04-19
[2]
类金刚石碳膜成膜装置及形成类金刚石碳膜的方法 [P]. 
大竹尚登 ;
松尾诚 ;
岩本喜直 .
中国专利 :CN102112650A ,2011-06-29
[3]
使用类金刚石母体在外表面生成非晶碳镀层的方法 [P]. 
S·F·赛曼纳 ;
A·W·图多珀 ;
R·M·卡尔森 ;
W·J·伯德曼 ;
T·B·卡瑟利 ;
P·J·哈扎瑞卡 ;
D·尤帕德雅亚 .
中国专利 :CN102016113A ,2011-04-13
[4]
一种表面改性非晶碳膜的消融针和非晶碳膜的制备方法 [P]. 
曹旭丹 ;
宓娅娜 ;
杨辉 .
中国专利 :CN115505877A ,2022-12-23
[5]
一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P]. 
吴春春 ;
杨挺 ;
王涛 ;
张云飞 .
中国专利 :CN114196938B ,2024-02-20
[6]
一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P]. 
吴春春 ;
杨挺 ;
王涛 ;
张云飞 .
中国专利 :CN114196938A ,2022-03-18
[7]
非晶碳膜、形成非晶碳膜的方法、具有非晶碳膜的导电性部件以及燃料电池用隔板 [P]. 
伊关崇 ;
山田由香 ;
中西和之 ;
大岛正 ;
森广行 ;
堀江俊男 ;
铃木宪一 ;
北原学 .
中国专利 :CN101448740B ,2009-06-03
[8]
低应力非晶金刚石厚膜镀层 [P]. 
史旭 ;
杨明楚 .
中国专利 :CN110592532A ,2019-12-20
[9]
低应力非晶金刚石厚膜镀层 [P]. 
史旭 ;
杨明楚 .
中国专利 :CN110592532B ,2024-01-30
[10]
一种非晶碳膜的制备方法 [P]. 
吴春春 ;
杨挺 ;
王涛 ;
张云飞 .
中国专利 :CN114231942A ,2022-03-25