一种非晶碳膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111543334.X

申请日：

2021-12-16

公开(公告)号：

CN114231942A

公开(公告)日：

2022-03-25

发明(设计)人：

吴春春杨挺王涛张云飞

申请人：

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区市心北路99号5楼

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C16505

代理机构：

合肥汇融专利代理有限公司 34141

代理人：

张雁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20211216
2022-03-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种非晶碳膜半导体制备方法 [P].

徐骏 ;

陈坤基 ;

徐岭 ;

李伟 ;

黄信凡 ;

马忠元 .

中国专利 :CN101000866A ,2007-07-18

[2]

一种亲水非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196937A ,2022-03-18

[3]

一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196938B ,2024-02-20

[4]

一种双层非晶碳膜及其制备方法 [P].

吴春春 ;

杨挺 ;

王涛 ;

张云飞 .

中国专利 :CN114196938A ,2022-03-18

[5]

一种表面改性非晶碳膜的消融针和非晶碳膜的制备方法 [P].

曹旭丹 ;

宓娅娜 ;

杨辉 .

中国专利 :CN115505877A ,2022-12-23

[6]

一种类金刚石非晶碳膜与类石墨非晶碳膜复合的非晶碳镀层的制备工艺 [P].

聂雄辉 ;

陈明辉 ;

黄榜 ;

侯东卫 ;

赵杰 ;

陈大力 .

中国专利 :CN120866815A ,2025-10-31

[7]

一种无氢型非晶碳膜的制备方法 [P].

刘畅 ;

刘晓阳 ;

张钦辉 ;

张海峰 .

中国专利 :CN111304587B ,2020-06-19

[8]

非晶碳膜的膜厚监测方法 [P].

王莎莎 ;

张富伟 ;

袁智琦 ;

陈东华 .

中国专利 :CN110243331A ,2019-09-17

[9]

一种非晶碳薄膜材料的低温制备方法 [P].

姜礼华 ;

肖业权 ;

谭新玉 ;

肖婷 ;

向鹏 ;

孙宜华 .

中国专利 :CN105386002A ,2016-03-09

[10]

降低在沉积非晶碳膜时晶圆背面金属污染的方法 [P].

朱亚丹 ;

周军 .

中国专利 :CN103219226B ,2013-07-24

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