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一种气压涂布式纳米压印设备及压印方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010492747.9
申请日：
2020-06-03
公开(公告)号：
CN111679553A
公开(公告)日：
2020-09-18
发明(设计)人：
邓萌萌
申请人：
申请人地址：
311400 浙江省杭州市富阳区九龙大道227-9号中国智谷富春园C2幢10层
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
金国栋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20200603 |
| 2020-09-18 | 公开 | 公开 |