掩膜版机械手预对准机构及掩膜版上版的方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610200480.5

申请日：

2016-03-31

公开(公告)号：

CN107285006A

公开(公告)日：

2017-10-24

发明(设计)人：

纪国友吴福龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

B65G4790

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-24	公开	公开
2020-02-18	授权	授权
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B65G 47/90 申请日:20160331

共 50 条

[1]

掩膜版转运机构及掩膜版转运系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN223073434U ,2025-07-08

[2]

一种掩膜版载台及掩膜版对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117369221A ,2024-01-09

[3]

一种掩膜版载台及掩膜版对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117369221B ,2025-09-26

[4]

掩膜版和硅片对准装置 [P].

宋宇 ;

孙海旋 ;

曾维俊 ;

卢瑶 ;

钱俊 ;

闫雪松 ;

于福鑫 ;

吕丹辉 .

中国专利 :CN113066747A ,2021-07-02

[5]

掩膜版和硅片对准装置 [P].

宋宇 ;

孙海旋 ;

曾维俊 ;

卢瑶 ;

钱俊 ;

闫雪松 ;

于福鑫 ;

吕丹辉 .

中国专利 :CN113066747B ,2024-05-17

[6]

掩膜版转移装置及掩膜版转移方法 [P].

梁杰 ;

周昊 ;

郑教增 .

中国专利 :CN119087752A ,2024-12-06

[7]

一种掩膜版传送装置及掩膜版除尘方法 [P].

宋海生 ;

王晓龙 ;

郑海昌 .

中国专利 :CN109240045A ,2019-01-18

[8]

掩膜版预对准装置以及晶圆曝光设备 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN118818928A ,2024-10-22

[9]

掩膜版预对准装置以及晶圆曝光设备 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN118818928B ,2025-01-28

[10]

掩膜版转移装置 [P].

梁杰 ;

周昊 ;

郑教增 .

中国专利 :CN119100320A ,2024-12-10

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