硅片自动倒角加工工艺

被引：0

申请号：

CN202210608623.1

申请日：

2022-05-31

公开(公告)号：

CN115064465A

公开(公告)日：

2022-09-16

发明(设计)人：

朱亮李宏张鑫景健薄晓东

申请人：

申请人地址：

311100 浙江省杭州市余杭区钱江经济开发区龙船坞路96号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

高礼强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-16	公开	公开
2022-10-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220531

共 50 条

[1]

一种全自动硅片倒角加工设备及其加工工艺 [P].

万喜增 ;

严云 ;

黄笑容 ;

郑六奎 .

中国专利 :CN109333222A ,2019-02-15

[2]

硅片加工工艺 [P].

于帅帅 ;

董雪迪 ;

林佳继 ;

刘群 .

中国专利 :CN115663070A ,2023-01-31

[3]

一种全自动硅片倒角加工设备 [P].

万喜增 ;

严云 ;

黄笑容 ;

郑六奎 .

中国专利 :CN209021793U ,2019-06-25

[4]

孔边缘倒角加工工艺 [P].

童志刚 ;

胥波 .

中国专利 :CN102554028A ,2012-07-11

[5]

改善硅片背封外观的加工工艺 [P].

陈珈璐 .

中国专利 :CN119615104A ,2025-03-14

[6]

一种超薄玻璃倒角加工工艺 [P].

左后松 ;

叶健新 ;

黄伊震 ;

王建彪 ;

曾伟安 ;

官卓源 ;

梁享健 ;

陈明亮 ;

蔡君古 ;

刘朋 .

中国专利 :CN120364953A ,2025-07-25

[7]

一种硅片加工工艺 [P].

库黎明 ;

闫志瑞 ;

索思卓 ;

黄军辉 ;

葛钟 ;

陈海滨 ;

张国栋 ;

盛方毓 .

中国专利 :CN101656193A ,2010-02-24

[8]

用于石材的倒角加工工艺 [P].

陈林 .

中国专利 :CN108188859A ,2018-06-22

[9]

PCD台阶倒角刀加工工艺 [P].

张志红 .

中国专利 :CN109877551B ,2019-06-14

[10]

一种倒角加工工艺 [P].

陈宝国 .

中国专利 :CN104439922A ,2015-03-25

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