玻璃基板均匀蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420687234.3

申请日：

2014-11-15

公开(公告)号：

CN204230213U

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

胡崑源

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276

代理人：

韩龙;李淑敏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141115 授权公告日:20150325 终止日期:20181115
2015-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

玻璃基板蚀刻装置 [P].

肖红星 .

中国专利 :CN204400824U ,2015-06-17

[2]

玻璃基板蚀刻方法、玻璃薄板及玻璃基板蚀刻装置 [P].

朴亨根 ;

高星宇 .

中国专利 :CN102674700A ,2012-09-19

[3]

玻璃基板蚀刻装置 [P].

孔正镐 ;

南重根 .

中国专利 :CN101630635B ,2010-01-20

[4]

玻璃基板的浸泡蚀刻装置 [P].

肖红星 .

中国专利 :CN204400823U ,2015-06-17

[5]

玻璃基板蚀刻方法、玻璃板材及玻璃基板蚀刻装置 [P].

朴亨根 ;

高星宇 .

中国专利 :CN102674701A ,2012-09-19

[6]

玻璃基板蚀刻篮结构 [P].

肖红星 .

中国专利 :CN204400828U ,2015-06-17

[7]

玻璃基板用蚀刻装置 [P].

崔民玉 ;

张台勳 .

中国专利 :CN105789087A ,2016-07-20

[8]

玻璃基板蚀刻装置及其屏蔽组件 [P].

陈德年 .

中国专利 :CN204454877U ,2015-07-08

[9]

玻璃基板蚀刻槽 [P].

林瑞钦 ;

黄兆畅 ;

陈泓邑 ;

李沅达 ;

张欣华 ;

叶容凯 ;

黄慧清 ;

张世群 ;

罗中育 ;

陈钦典 ;

简文鸿 .

中国专利 :CN203960050U ,2014-11-26

[10]

超声槽和均匀玻璃基板蚀刻方法 [P].

J·T·基奇 ;

S·K-R·刘 .

中国专利 :CN111499210A ,2020-08-07

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