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玻璃基板均匀蚀刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201420687234.3
申请日：
2014-11-15
公开(公告)号：
CN204230213U
公开(公告)日：
2015-03-25
发明(设计)人：
胡崑源
申请人：
申请人地址：
中国台湾桃园县
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276
代理人：
韩龙;李淑敏
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-05 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141115 授权公告日:20150325 终止日期:20181115 |
| 2015-03-25 | 授权 | 授权 |