玻璃基板均匀蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420687234.3

申请日：

2014-11-15

公开(公告)号：

CN204230213U

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

胡崑源

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276

代理人：

韩龙;李淑敏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141115 授权公告日:20150325 终止日期:20181115
2015-03-25	授权	授权

共 50 条

[41]

玻璃蚀刻用保护用具 [P].

肖红星 .

中国专利 :CN204400826U ,2015-06-17

[42]

一种玻璃基板蚀刻液 [P].

张杰 ;

沈励 ;

郑建军 ;

姚仕军 ;

夏伟 ;

吴青肖 .

中国专利 :CN107954608A ,2018-04-24

[43]

蚀刻混切玻璃基板的方法 [P].

袁林 ;

晏英 .

中国专利 :CN110316971B ,2019-10-11

[44]

一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置 [P].

周杰海 .

中国专利 :CN109273381A ,2019-01-25

[45]

玻璃基板的通孔蚀刻方法 [P].

周钰平 ;

徐苏凡 ;

朱雪晶 ;

李程 .

中国专利 :CN121085552A ,2025-12-09

[46]

TFT玻璃基板单面蚀刻的方法 [P].

阮军 ;

舒滔 .

中国专利 :CN103359949A ,2013-10-23

[47]

玻璃用蚀刻液及玻璃基板制造方法 [P].

西川晴香 ;

岛田和哉 ;

永井忠 ;

三好雄三 ;

富家夏树 ;

大小田健太 ;

柏原康宏 ;

齐藤俊介 ;

大山阳照 ;

林笃嗣 ;

福成良介 ;

石垣畅规 ;

元持健 ;

久米贵大 .

中国专利 :CN113767075A ,2021-12-07

[48]

一种玻璃基板蚀刻机腔室结构 [P].

孙江海 ;

郑建军 ;

许沭华 ;

俞良 ;

陈云飞 ;

夏大映 ;

王茹 ;

周强然 ;

程亚鑫 ;

潘昊 .

中国专利 :CN222980453U ,2025-06-13

[49]

玻璃强化方法、玻璃基板和用于玻璃的蚀刻材料 [P].

熊圣安 ;

古丛彬 ;

龚小龙 ;

李雄波 .

中国专利 :CN114455858A ,2022-05-10

[50]

玻璃强化方法、玻璃基板和用于玻璃的蚀刻材料 [P].

熊圣安 ;

古丛彬 ;

龚小龙 ;

李雄波 .

中国专利 :CN114455858B ,2024-02-27

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