直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710131473.9

申请日：

2017-03-07

公开(公告)号：

CN107045265B

公开(公告)日：

2017-08-15

发明(设计)人：

李显杰

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G06F306

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104

代理人：

殷红梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-16	授权	授权
2023-01-03	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 登记号:Y2022320010819 登记生效日:20221219 出质人:无锡影速半导体科技有限公司质权人:江苏银行股份有限公司无锡分行发明名称:直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法申请日:20170307 授权公告日:20190416
2017-08-15	公开	公开
2017-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101746373021 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2017101314739 申请日:20170307

共 50 条

[1]

控制直写式光刻机的方法和直写式光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN113934115A ,2022-01-14

[2]

一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法 [P].

曹旸 ;

李阳 .

中国专利 :CN104216238B ,2014-12-17

[3]

超大板直写式光刻机扫描曝光方法 [P].

陈海巍 .

中国专利 :CN106802538B ,2017-06-06

[4]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[5]

直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机 [P].

王超 ;

梅文辉 ;

赵美云 ;

邵德洋 .

中国专利 :CN119556532A ,2025-03-04

[6]

一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机 [P].

王新旺 ;

刘涛 ;

杨振玲 .

中国专利 :CN206057793U ,2017-03-29

[7]

基于CUDA的直写式光刻机数据拓展方法 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN110335190A ,2019-10-15

[8]

一种直写式光刻机的扫描曝光方法 [P].

周黎 ;

张书荣 ;

胥涛棚 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN113960887B ,2022-01-21

[9]

一种直写式光刻系统中倾斜扫描显示方法 [P].

陈勇 ;

陈修涛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN102890426B ,2013-01-23

[10]

直写式光刻机及漏水检测方法 [P].

朱会敏 .

中国专利 :CN112161751A ,2021-01-01

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