一种保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811463937.7

申请日：

2018-12-03

公开(公告)号：

CN109585275A

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

刘世龙张泽兴路景刚

申请人：

申请人地址：

014000 内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2166 H01L3118 H01L3120

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

任立;艾中兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20181203
2019-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

水溶性单晶硅片或多晶硅片切削液 [P].

方永勤 ;

许亮 ;

吴余冬 .

中国专利 :CN102021070B ,2011-04-20

[2]

单晶/多晶硅片的清洗方法 [P].

吴雄杰 ;

高海军 ;

饶伟星 ;

王飞尧 ;

肖型奎 ;

赵文辉 .

中国专利 :CN101700520A ,2010-05-05

[3]

一种单晶或多晶硅片的酸洗工艺 [P].

周建明 ;

严郁刚 ;

郑王海 .

中国专利 :CN101838851A ,2010-09-22

[4]

一种单晶硅片的生产方法及单晶硅片 [P].

徐志群 ;

孙彬 ;

付明全 ;

杨振忠 ;

马伟萍 .

中国专利 :CN114311355A ,2022-04-12

[5]

一种制备高效铸锭多晶硅的方法及专用单晶硅片 [P].

康海涛 ;

叶宏亮 ;

熊震 ;

张志强 .

中国专利 :CN105112996A ,2015-12-02

[6]

类单晶硅片的制绒方法 [P].

童锐 ;

石东益 ;

王俊 ;

刘家益 .

中国专利 :CN102810594A ,2012-12-05

[7]

一种单晶硅片的制备方法 [P].

马兴华 .

中国专利 :CN110528073A ,2019-12-03

[8]

一种改善有多晶硅背封的单晶硅片翘曲度的方法 [P].

吴泓明 ;

张田田 ;

钟佑生 ;

王文博 ;

李云鹏 ;

喻阳平 ;

张丽 .

中国专利 :CN118866710A ,2024-10-29

[9]

一种单晶硅片 [P].

吉新安 .

中国专利 :CN218499057U ,2023-02-17

[10]

一种单晶硅片 [P].

周日发 .

中国专利 :CN202633334U ,2012-12-26

← 1 2 3 4 5 →