一种掩膜板吸附装置、光掩膜装置及曝光设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620739782.5

申请日：

2016-07-13

公开(公告)号：

CN205880499U

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

万冀豫杨同华张思凯冯贺齐鹏煜

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法 [P].

藤野诚治 ;

张嵩 ;

王涛 ;

高静 ;

杜小波 .

中国专利 :CN104749874A ,2015-07-01

[2]

掩膜板及掩膜装置 [P].

张丁成 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115637406B ,2025-08-12

[3]

掩膜板及掩膜装置 [P].

张丁成 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115637406A ,2023-01-24

[4]

一种掩膜板及掩膜板存放装置 [P].

刘会双 ;

宁鹏飞 ;

吴康成 .

中国专利 :CN208444127U ,2019-01-29

[5]

掩膜装置和曝光设备 [P].

齐鹏煜 ;

张思凯 ;

汪栋 .

中国专利 :CN108508694A ,2018-09-07

[6]

掩膜板支撑组件及掩膜装置 [P].

何文双 ;

吴炜钦 ;

罗武峰 ;

蔡晓义 ;

柯贤军 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN206266700U ,2017-06-20

[7]

掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板 [P].

苏君海 ;

龚建国 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

李建华 .

中国专利 :CN107653435A ,2018-02-02

[8]

一种精细金属掩膜板、掩膜装置及张网设备 [P].

蔡建畅 ;

薛龙辉 ;

张微 ;

肖星亮 .

中国专利 :CN211036074U ,2020-07-17

[9]

掩膜板和曝光设备 [P].

徐元杰 ;

祁小敬 ;

高山 .

中国专利 :CN107807493B ,2018-03-16

[10]

掩膜装置及掩膜板冷却系统 [P].

王亚 .

中国专利 :CN204714882U ,2015-10-21

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