一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510136925.3

申请日：

2015-03-26

公开(公告)号：

CN104749874A

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

藤野诚治张嵩王涛高静杜小波

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F164

IPC分类号：

G03F166 G03F720

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

张所明

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 1/64 申请公布日:20150701
2015-07-01	公开	公开
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618650495 IPC(主分类):G03F 1/64 专利申请号:2015101369253 申请日:20150326

共 50 条

[1]

掩膜板和曝光设备 [P].

徐元杰 ;

祁小敬 ;

高山 .

中国专利 :CN107807493B ,2018-03-16

[2]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 .

中国专利 :CN111381434B ,2020-07-07

[3]

掩膜板及曝光方法 [P].

何成勇 ;

王洋 ;

杨军 ;

王鑫 ;

李官正 ;

李金祥 ;

王兴明 ;

蔡鹏 ;

崔晓晨 ;

张俊伟 ;

张灿 ;

王纯杰 .

中国专利 :CN107976873A ,2018-05-01

[4]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 ;

章磊 ;

李成立 .

中国专利 :CN111381437A ,2020-07-07

[5]

一种掩膜板吸附装置、光掩膜装置及曝光设备 [P].

万冀豫 ;

杨同华 ;

张思凯 ;

冯贺 ;

齐鹏煜 .

中国专利 :CN205880499U ,2017-01-11

[6]

一种曝光设备、掩膜板及曝光方法 [P].

郭建 ;

周伟峰 ;

明星 ;

陈永 ;

肖光辉 .

中国专利 :CN102243444A ,2011-11-16

[7]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[8]

掩膜板、掩膜板组和拼接曝光方法 [P].

刘志拯 .

中国专利 :CN117492319A ,2024-02-02

[9]

掩膜板及其制造方法和掩膜曝光方法 [P].

谢振宇 ;

林承武 ;

陈旭 ;

郭建 ;

刘翔 .

中国专利 :CN101840149B ,2010-09-22

[10]

掩膜板承座及曝光设备 [P].

吴玉琦 ;

徐进 .

中国专利 :CN201402364Y ,2010-02-10

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