一种曝光设备、掩膜板及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010175938.9

申请日：

2010-05-14

公开(公告)号：

CN102243444A

公开(公告)日：

2011-11-16

发明(设计)人：

郭建周伟峰明星陈永肖光辉

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区西环中路8号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F114

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180312670 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010101759389 申请日:20100514
2013-04-10	授权	授权
2015-07-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移变更后权利人:京东方科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:100176 北京市经济技术开发区西环中路8号变更后权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京京东方光电科技有限公司登记生效日:20150707 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718570693 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2010101759389 变更事项:专利权人变更前权利人:北京京东方光电科技有限公司
2011-11-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法 [P].

藤野诚治 ;

张嵩 ;

王涛 ;

高静 ;

杜小波 .

中国专利 :CN104749874A ,2015-07-01

[2]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[3]

掩膜板和曝光设备 [P].

徐元杰 ;

祁小敬 ;

高山 .

中国专利 :CN107807493B ,2018-03-16

[4]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 ;

章磊 ;

李成立 .

中国专利 :CN111381437A ,2020-07-07

[5]

掩膜板及曝光方法 [P].

何成勇 ;

王洋 ;

杨军 ;

王鑫 ;

李官正 ;

李金祥 ;

王兴明 ;

蔡鹏 ;

崔晓晨 ;

张俊伟 ;

张灿 ;

王纯杰 .

中国专利 :CN107976873A ,2018-05-01

[6]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 .

中国专利 :CN111381434B ,2020-07-07

[7]

掩膜板承座及曝光设备 [P].

吴玉琦 ;

徐进 .

中国专利 :CN201402364Y ,2010-02-10

[8]

掩膜板、拼接曝光方法及基板 [P].

张振宇 ;

顾维杰 ;

马晓飞 ;

陈亚坤 .

中国专利 :CN111025842A ,2020-04-17

[9]

一种掩膜板吸附装置、光掩膜装置及曝光设备 [P].

万冀豫 ;

杨同华 ;

张思凯 ;

冯贺 ;

齐鹏煜 .

中国专利 :CN205880499U ,2017-01-11

[10]

一种掩膜版、曝光设备和曝光方法 [P].

杨堂 ;

叶超 ;

魏小丹 ;

何宝生 ;

刘沛 ;

邓祖文 .

中国专利 :CN115542658B ,2025-08-15

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