掩膜板及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811652807.8

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN111381437A

公开(公告)日：

2020-07-07

发明(设计)人：

任书铭章磊李成立

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F176

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/76 申请日:20181228
2020-07-07	公开	公开
2021-12-31	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜板及曝光方法 [P].

何成勇 ;

王洋 ;

杨军 ;

王鑫 ;

李官正 ;

李金祥 ;

王兴明 ;

蔡鹏 ;

崔晓晨 ;

张俊伟 ;

张灿 ;

王纯杰 .

中国专利 :CN107976873A ,2018-05-01

[2]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 .

中国专利 :CN111381434B ,2020-07-07

[3]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[4]

一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法 [P].

藤野诚治 ;

张嵩 ;

王涛 ;

高静 ;

杜小波 .

中国专利 :CN104749874A ,2015-07-01

[5]

掩膜板、掩膜板组和拼接曝光方法 [P].

刘志拯 .

中国专利 :CN117492319A ,2024-02-02

[6]

掩膜板、拼接曝光方法及基板 [P].

张振宇 ;

顾维杰 ;

马晓飞 ;

陈亚坤 .

中国专利 :CN111025842A ,2020-04-17

[7]

掩膜板及其制造方法和掩膜曝光方法 [P].

谢振宇 ;

林承武 ;

陈旭 ;

郭建 ;

刘翔 .

中国专利 :CN101840149B ,2010-09-22

[8]

一种曝光设备、掩膜板及曝光方法 [P].

郭建 ;

周伟峰 ;

明星 ;

陈永 ;

肖光辉 .

中国专利 :CN102243444A ,2011-11-16

[9]

掩膜板部件、其掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法 [P].

詹敏 .

中国专利 :CN108957940A ,2018-12-07

[10]

一种掩膜板曝光平台及掩膜板的调整方法 [P].

毛志豪 ;

刘伟 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108227402A ,2018-06-29

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