掩膜板部件、其掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710366560.2

申请日：

2017-05-23

公开(公告)号：

CN108957940A

公开(公告)日：

2018-12-07

发明(设计)人：

詹敏

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

G03F100

IPC分类号：

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

孟潭

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 1/00 申请公布日:20181207
2018-12-07	公开	公开
2019-01-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/00 申请日:20170523

共 50 条

[1]

掩膜板、掩膜板组和拼接曝光方法 [P].

刘志拯 .

中国专利 :CN117492319A ,2024-02-02

[2]

精密掩膜板和掩膜板 [P].

邱岳 ;

王子豪 ;

李伟丽 ;

韩冰 ;

李文星 .

中国专利 :CN114032499A ,2022-02-11

[3]

掩膜板及其制造方法和掩膜曝光方法 [P].

谢振宇 ;

林承武 ;

陈旭 ;

郭建 ;

刘翔 .

中国专利 :CN101840149B ,2010-09-22

[4]

掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法 [P].

朱海彬 ;

董学 ;

袁广才 ;

王伟杰 ;

张峰杰 .

中国专利 :CN109440061A ,2019-03-08

[5]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板的制备方法 [P].

邢汝博 .

中国专利 :CN119932476A ,2025-05-06

[6]

掩膜板的制备方法和掩膜板 [P].

张小磊 ;

藤野诚治 ;

王小虎 .

中国专利 :CN104865791A ,2015-08-26

[7]

掩膜板和掩膜板的制造方法 [P].

熊腾青 ;

李如 ;

乔永康 ;

潘晟恺 ;

刘杰 ;

杨凯 ;

于剑伟 .

中国专利 :CN108385058A ,2018-08-10

[8]

掩膜板制作方法和掩膜板 [P].

齐英旭 ;

卓林海 ;

王亚 ;

郭宏伟 ;

田斌 .

中国专利 :CN113388808B ,2021-09-14

[9]

掩膜板和掩膜板的组装方法 [P].

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN106498343A ,2017-03-15

[10]

掩膜板张网方法、掩膜板张网装置及掩膜板 [P].

余强根 ;

卓林海 ;

王亚 .

中国专利 :CN111218645B ,2020-06-02

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