一种掩膜板曝光平台及掩膜板的调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711474976.2

申请日：

2017-12-29

公开(公告)号：

CN108227402A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

毛志豪刘伟任思雨苏君海李建华

申请人：

申请人地址：

516029 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

邓聪权

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171229
2018-06-29	公开	公开
2021-09-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20180629

共 50 条

[1]

一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法 [P].

藤野诚治 ;

张嵩 ;

王涛 ;

高静 ;

杜小波 .

中国专利 :CN104749874A ,2015-07-01

[2]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 .

中国专利 :CN111381434B ,2020-07-07

[3]

掩膜板及曝光方法 [P].

何成勇 ;

王洋 ;

杨军 ;

王鑫 ;

李官正 ;

李金祥 ;

王兴明 ;

蔡鹏 ;

崔晓晨 ;

张俊伟 ;

张灿 ;

王纯杰 .

中国专利 :CN107976873A ,2018-05-01

[4]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 ;

章磊 ;

李成立 .

中国专利 :CN111381437A ,2020-07-07

[5]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板的制备方法 [P].

邢汝博 .

中国专利 :CN119932476A ,2025-05-06

[6]

掩膜板、掩膜板组和拼接曝光方法 [P].

刘志拯 .

中国专利 :CN117492319A ,2024-02-02

[7]

掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法 [P].

朱海彬 ;

董学 ;

袁广才 ;

王伟杰 ;

张峰杰 .

中国专利 :CN109440061A ,2019-03-08

[8]

掩膜板及掩膜板制备方法 [P].

孙琳 ;

赵晶晶 ;

刘明星 .

中国专利 :CN110396660B ,2019-11-01

[9]

掩膜板及掩膜板制备方法 [P].

欧凌涛 ;

甘帅燕 ;

卓林海 .

中国专利 :CN108179379B ,2018-06-19

[10]

掩膜板的制备方法及掩膜板 [P].

刘景涛 .

中国专利 :CN112251716B ,2021-01-22

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