掩膜板支撑组件及掩膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621283319.0

申请日：

2016-11-25

公开(公告)号：

CN206266700U

公开(公告)日：

2017-06-20

发明(设计)人：

何文双吴炜钦罗武峰蔡晓义柯贤军苏君海李建华

申请人：

申请人地址：

516029 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 H01L5156

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

邓云鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板 [P].

苏君海 ;

龚建国 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

李建华 .

中国专利 :CN107653435A ,2018-02-02

[2]

掩膜板的支撑框架及掩膜板组件 [P].

赵莹 ;

张磊 ;

张丁成 ;

李慧 ;

王盼盼 ;

李文星 .

中国专利 :CN118048606A ,2024-05-17

[3]

掩膜板、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN207775333U ,2018-08-28

[4]

掩膜板框架及掩膜板 [P].

韩超杰 ;

汪仁朋 ;

冉应刚 ;

王红英 ;

蔡晓义 .

中国专利 :CN210534534U ,2020-05-15

[5]

掩膜板支撑框架及掩膜板 [P].

周俊吉 ;

李哲 ;

赵阳 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN217839099U ,2022-11-18

[6]

掩膜板及掩膜组件 [P].

彭丽娟 .

中国专利 :CN110079763A ,2019-08-02

[7]

掩膜板及掩膜组件 [P].

臧公正 ;

李文星 ;

李伟丽 ;

韩冰 ;

张继帅 ;

邱岳 .

中国专利 :CN114107897A ,2022-03-01

[8]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李加伟 .

中国专利 :CN110760791A ,2020-02-07

[9]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李加伟 .

中国专利 :CN110760790A ,2020-02-07

[10]

掩膜组件及掩膜板 [P].

杨峰 ;

李有鹏 ;

李慧 ;

赵晶晶 ;

邹敏 ;

王盼盼 .

中国专利 :CN116121698B ,2025-07-29

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