一种用于大面积微纳结构制作的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710099493.9

申请日：

2007-05-23

公开(公告)号：

CN101063809A

公开(公告)日：

2007-10-31

发明(设计)人：

陈献忠罗先刚张春梅姚汉民杜春雷李海颖

申请人：

申请人地址：

610209四川省双流350信箱

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司

代理人：

贾玉忠;卢纪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-10-31	公开	公开
2011-03-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101076733460 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2007100994939 公开日:20071031

共 50 条

[1]

一种双飞秒激光束柱透镜汇聚干涉制备大面积周期微纳结构的装置 [P].

曹凯强 ;

陈龙 ;

冯朝鹏 ;

蒋其麟 ;

孙真荣 ;

贾天卿 .

中国专利 :CN109865939A ,2019-06-11

[2]

大面积微纳图形化的装置和方法 [P].

兰馨然 ;

兰红波 .

中国专利 :CN105159029A ,2015-12-16

[3]

一种大面积钢结构整体吊装检测装置 [P].

柳荣芳 ;

杨巧丽 ;

李强 .

中国专利 :CN205804990U ,2016-12-14

[4]

一种批量化制造大面积微纳米结构的装置 [P].

兰红波 ;

刘明杨 ;

许权 .

中国专利 :CN208506492U ,2019-02-15

[5]

大面积光栅的制作方法 [P].

杜保林 ;

张宁 ;

邱龙甲 ;

张鹏 ;

宋志远 ;

张海军 ;

刘龙飞 ;

谢意 ;

李瑞华 .

中国专利 :CN119471882A ,2025-02-18

[6]

一种制作大面积光子晶体的方法 [P].

靳文涛 ;

张雪华 ;

李林 ;

李红 ;

刘生满 ;

郭鹏 .

中国专利 :CN106842378A ,2017-06-13

[7]

一种大面积微单晶阵列加工方法 [P].

江亮 ;

屈芙蓉 ;

夏洋 ;

高寒飞 ;

朱忠鹏 ;

杨俊川 ;

谢超 ;

杨宝翔 ;

陈俊豪 ;

张超 .

中国专利 :CN120693042A ,2025-09-23

[8]

一种用于大面积纳米压印的自适应压印头 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN203217240U ,2013-09-25

[9]

一种用于大面积纳米压印的自适应压印头 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN103246161B ,2013-08-14

[10]

在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法 [P].

居冰峰 ;

金伟锋 ;

伏明明 .

中国专利 :CN101318298A ,2008-12-10

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