在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810062983.6

申请日：

2008-07-17

公开(公告)号：

CN101318298A

公开(公告)日：

2008-12-10

发明(设计)人：

居冰峰金伟锋伏明明

申请人：

申请人地址：

310027浙江省杭州市浙大路38号

IPC主分类号：

B23Q15013

IPC分类号：

G02B300

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

张法高

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-12-10	公开	公开
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003373583 IPC(主分类):B23Q 15/013 专利申请号:2008100629836 公开日:20081210

共 50 条

[1]

一种用于大面积微纳结构制作的装置 [P].

陈献忠 ;

罗先刚 ;

张春梅 ;

姚汉民 ;

杜春雷 ;

李海颖 .

中国专利 :CN101063809A ,2007-10-31

[2]

三维微纳结构光刻系统及其方法 [P].

邵仁锦 ;

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

徐顺达 ;

吕帅 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112799286B ,2021-05-14

[3]

三维微纳结构光刻系统及其方法 [P].

邵仁锦 ;

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112799285B ,2021-05-14

[4]

一种基于复合扫描改进三维微纳结构的加工方法 [P].

曹耀宇 ;

李湘滔 ;

李向平 .

中国专利 :CN108983555B ,2018-12-11

[5]

基于纳米探针的微纳三维结构制备方法 [P].

张一慧 ;

薛兆国 ;

吕增耀 ;

白柯 ;

王月皎 ;

赵建中 ;

兰宇 ;

柏韧恒 ;

赖禹辰 ;

帅雨萌 .

中国专利 :CN117842927A ,2024-04-09

[6]

三维微纳结构、检测装置和检测方法 [P].

黄成军 ;

罗军 ;

赵超 .

中国专利 :CN105445250A ,2016-03-30

[7]

一种多层三维微纳结构湿法刻蚀加工方法 [P].

陈桪 ;

王浩亚 ;

龙杰才 ;

舒炜明 ;

张轩 ;

张皓钧 .

中国专利 :CN121091405A ,2025-12-09

[8]

一种三维微纳结构器件的制备装置及方法 [P].

任山 ;

孟嘉欣 ;

洪澜 ;

孟跃中 ;

肖敏 ;

王拴紧 ;

韩冬梅 .

中国专利 :CN106801248A ,2017-06-06

[9]

三维微纳结构印章的制备及批量复制方法 [P].

孙洪文 ;

林善明 .

中国专利 :CN101613076A ,2009-12-30

[10]

一种三维微纳结构电化学诱导加工方法 [P].

闫永达 ;

詹东平 ;

韩联欢 ;

曹永智 ;

胡振江 ;

赵学森 .

中国专利 :CN107414221A ,2017-12-01

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