三维微纳结构光刻系统及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911115004.3

申请日：

2019-11-14

公开(公告)号：

CN112799285B

公开(公告)日：

2021-05-14

发明(设计)人：

邵仁锦浦东林朱鹏飞张瑾朱鸣陈林森

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区新昌路68号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

上海波拓知识产权代理有限公司 31264

代理人：

周景

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191114
2021-05-14	公开	公开
2022-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

三维微纳结构光刻系统及其方法 [P].

邵仁锦 ;

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

徐顺达 ;

吕帅 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112799286B ,2021-05-14

[2]

一种用于微纳结构表面三维形貌上的光刻方法 [P].

王化宾 ;

何渝 ;

赵立新 .

中国专利 :CN114995053A ,2022-09-02

[3]

一种用于微纳结构表面三维形貌上的光刻方法 [P].

王化宾 ;

何渝 ;

赵立新 .

中国专利 :CN114995053B ,2024-08-30

[4]

一种三维微纳结构的偏振干涉光刻方法及系统 [P].

叶燕 ;

许宜申 .

中国专利 :CN120178618A ,2025-06-20

[5]

一种三维微纳结构的偏振干涉光刻方法及系统 [P].

叶燕 ;

许宜申 .

中国专利 :CN120178618B ,2025-08-01

[6]

三维微纳结构、检测装置和检测方法 [P].

黄成军 ;

罗军 ;

赵超 .

中国专利 :CN105445250A ,2016-03-30

[7]

基于纳米探针的微纳三维结构制备方法 [P].

张一慧 ;

薛兆国 ;

吕增耀 ;

白柯 ;

王月皎 ;

赵建中 ;

兰宇 ;

柏韧恒 ;

赖禹辰 ;

帅雨萌 .

中国专利 :CN117842927A ,2024-04-09

[8]

双目全息三维显示系统及其方法 [P].

颜玢玢 ;

肖瑞 ;

桑新柱 ;

秦秀娟 ;

李会 ;

仲崇力 ;

陈铎 ;

余重秀 ;

董宇 ;

孙智 .

中国专利 :CN114237001B ,2022-03-25

[9]

基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法 [P].

周毅 ;

唐燕 ;

陈楚怡 ;

邓钦元 ;

谢仲业 ;

田鹏 ;

李凡星 ;

胡松 ;

赵立新 .

中国专利 :CN107388984A ,2017-11-24

[10]

三维微纳结构印章的制备及批量复制方法 [P].

孙洪文 ;

林善明 .

中国专利 :CN101613076A ,2009-12-30

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